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      空氣過濾器技術資料

      發布:hy-filter 瀏覽:1945次

      AMC去除

       

           對微電子制造業來說,空氣中危害生產工藝和產品并因此引起成品率降低的化學物質,稱為“分子級污染物”(或氣載分子污染物),英文簡稱“AMC”。分子污染物的尺寸比粒子要小得多,相差幾個數量級,高效過濾器HEPA或者超高效過濾器ULPA根本無法去除AMC。

      多年的理論和實踐證明,化學過濾是低濃度氣體污染物最為經濟有效的去除方法,幾乎可以去除所有的氣體污染物,在工業排風、溶劑回收等高濃度場合也在大量使用,是一項安全、可靠、成熟的技術。

       

      什么是AMC

       

           危害生產工藝并因此導致成品率降低的空氣中的分子態化學物質,稱為“分子級污染物”(或氣載分子污染物),英文簡稱“AMC”。 AMC包括空氣中的多種有害氣體和金屬離子。國際半導體技術與材料協會(SEMI)根據AMC的化學性質以及對生產工藝的危害,對其分為四類:酸性(MA)﹑ 堿性(MB), 可凝性(MC)和摻雜性(MD)。(1)酸性AMC :能夠接受電子(受主)的化學腐蝕性氣相物質。如氟化氫(HF),二氧化硫(SO2)等。(2)堿性AMC:能夠施于電子(施主)的化學腐蝕性氣相物質。如氨氣(NH3),六甲基二硅醚(HMDSO)等。(3)可凝性AMC:常溫常壓下,能夠在干凈表面(如硅片)凝結的氣相物質。如硅烷,二丁基甲酚(BHT),大分子碳氫化合物等。(4)摻雜性AMC:能夠改變半導體材料導電性的化學物質。如硼(B),磷(P)等。HEPA高效過濾器和ULPA超高效過濾器

       

             HEPA 是英語high efficiency particle air filter的縮寫形式,ULPA是英語 ultra low penetration air filter的縮寫形式。

       

      根據EN1822 分級,HEPA分為五個等級,即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14;ULPA分為三個等級,即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA過濾器是潔凈室的心臟,所以要保證潔凈室的潔凈度,要對過濾器進行逐臺掃描檢測,下表是不同等級過濾器對效率的最低要求。例如H13對MPPS的最低效率為99.95%,一般記作:效率 99.95% at MPPS, 這與“效率 99.95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同,因為0.12 或0.3 不一定是該過濾器的最易穿透粒徑,對于HEPA 派克濾芯和ULPA超高效過濾器,一定要知道該過濾器的“最易穿透粒徑MPPS”是多少。

       

      什么是MPPS

       

             MPPS 是英文most penetrating particle size 的縮寫,是最易穿透粒徑的意思,即最低效率粒徑。換句話說,高效過濾器在某一粒徑處的效率存在最低點。

      很多人會誤認為,灰塵粒子越小,越不容易去除,其實不然。過濾器去除粒子的機理,主要包括擴散﹑攔截﹑慣性和篩效應。如圖所示,四種機理綜合效應的結果對某一粒徑的粒子去除效率最低,這一粒徑通常在0.1-0.2 ,但是該粒徑究竟是0.11 ﹑0.13 ﹑0.15 還是其它數值,會因過濾材料或過濾器結構而不同。因此對于高效過濾器HEPA或超高效過濾器ULPA而言,一定要供應商告訴您MPPS效率是多少,這樣就可以保證過濾器對其它粒徑的效率肯定比MPPS效率高!


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